全自动晶圆激光打标机

1)一键式操作全自动运行

2)高精度、高速度

3)长期稳定可靠运行

4)人性化设计,人机界面友好

5)触摸品操控

6)激光器寿命10万小时免维护

功能特点

技术参数

样品应用

产品标签

1)激光器系统

2)外光路系统

3)X/Y/theta三轴精细运动系统

4)机器人上下料系统

5)寻边定位系统

6)高速扫描振镜系统

7)调焦对焦系统

8)抽气除尘系统(净化)

9)逻辑控制系统

10)花岗岩基座平台


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  •  激光类型

    紫外激光

    光束质量

    ≥90%

    激光功率

    3W / 5W / 8W / 10W

    激光波长

    355nm

    加工材料

    ND:YVO4

    光斑模式

    TEM00(≤1.2) 基膜

    工作幅面

    70mm×70mm/100mm×100mm/150mm×150mm (可选)

    最大打标速度

    ≤7000mm/s

    最小线宽

    0.01mm

    最小光斑直径

    15um

    光斑入射角

    Mrad<2

    最小字符

    0.15mm

    重复精度

    ±0.003mm

    脉冲频率

    20KHz-200KHz

    电源

    220v/50Hz/10A

    冷却系统

    风冷

    适用于硅晶圆的定位十字叉表可和ID序列号打标。

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